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　近日，中國機械工業(yè)集團公司（簡稱國機集團）所屬沈陽儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過了科技成果鑒定。

項目研制出了國內(nèi)首臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進精度可達2μm/310mm，主軸最高轉(zhuǎn)速41000r/min。

申請國家發(fā)明專利3項以上，實用新型專利4項以上，取得了一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的研究成果，填補了國內(nèi)空白，整體技術(shù)水平達到國際先進水平，形成了相應(yīng)技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

項目的研發(fā)成功為提升我國IC（集成電路）裝備的技術(shù)水平檔次、提高國內(nèi)外市場的競爭力和市場占有率，滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進作用。